mems是什么意思
首页 / 图说社会 / 问答 | 2022-01-02 00:44:27 点击:0

mems即微机电系统(英语:Microelectromechanical Systems,缩写为MEMS)是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术,它的操作范围在微米范围内。比它更小的,在纳米范围的类似的技术被称为纳机电系统。
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