光刻机是什么光刻机是什么东西

首页 / 图说知识 / 生活 | 2021-03-28 05:35:46 点击:0

　　光刻机又名掩模对准**机、**系统、光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的**印制到硅片上。光刻机的种类可分为：接触式**、接近式**、投影式**。

光刻机是什么光刻机是什么东西

　　光刻机的工作原理是通过一系列的光源能量、形状****，将光束透射过画着线路图的掩模，经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例缩小后映射到硅片上。然后使用化学方法显影，得到刻在硅片上的电路图。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准**、后烘、显影、硬烘、激光刻蚀等工序。光刻机的制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，因此，世界上只有少数厂家掌握。

光刻机是什么光刻机是什么东西